Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS), ein weltweit führender Anbieter von Technologien zur präzisen Stromumwandlung und -regelung, hat den Omni™ RF-Diagnosewagen vorgestellt – ein umfassendes Tool zur Verifizierung der RF-Leistungsübertragung in kritischen Fertigungsprozessen der Halbleiterindustrie.
Der Wagen kombiniert das 5540A RF-Leistungsmessgerät mit PowerInsight by Advanced Energy®, einem IoT-fähigen Datenökosystem zur Echtzeitüberwachung und -analyse. Ein einzelner RF-Sensor kann auf bis zu sechs verschiedene Frequenzen im Bereich von 0,2 bis 200 MHz konfiguriert werden, um maximale Flexibilität für unterschiedliche Prozessanforderungen zu bieten.
Wichtige Funktionen und Vorteile
- Integriertes 5540A RF-Leistungsmessgerät: Präzise Messung mit einer Genauigkeit von ±0,5 % + 0,5 W, nur jährliche Kalibrierung erforderlic
- PowerInsight-Schnittstelle: Lokaler und Remote-Zugriff über LAN, HDMI und USB-C – ermöglicht Echtzeitüberwachung, Datenvisualisierung, Trendanalyse und Alarme
- Prädiktive Wartung: Historische Trendanalysen und Metadatenprotokollierung helfen, Leistungsprobleme frühzeitig zu erkennen und Wartung proaktiv zu planen
- Multifrequenz-Fähigkeit: Ein Sensor für bis zu sechs Frequenzen – vereinfacht RF-Kalibrierungsprozesse erheblich
- Betriebseffizienz: Minimiert Ausfallzeiten und senkt Betriebskosten durch intuitive Diagnosen und vorausschauende Analytik
"Der Omni RF-Diagnosewagen bietet eine vollständige RF-Kalibrierungs- und Analyseplattform für die Halbleiterfertigung“, sagt Juergen Braun, Senior Vice President Plasma Power Products bei Advanced Energy. „Er vereint einen hochpräzisen Sensor mit der PowerInsight-HMI für Fern- und Vor-Ort-Monitoring, vorausschauende Analyse und effektive Fehlersuche."
Der Omni RF-Diagnosewagen verbessert die Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit in Halbleiterfabriken, indem er Ingenieuren ermöglicht, die RF-Leistungsübertragung mit beispielloser Genauigkeit und Benutzerfreundlichkeit zu verifizieren, zu überwachen und zu optimieren.